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国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货

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yao 发表于 1-9 09:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货

晶洲装备官方宣布,国产首台精密掩模版(Fine Metal Mask, 简称 FMM)INVAR 卷材工艺设备已于 1 月 6 日通过厂内验收,发运客户端即将投入生产。这是晶洲装备自主研发生产的国内首台 INVAR 卷材工艺设备。该设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元,具备将基材厚度管理至 20μm 以内水平,从而打破国外企业的垄断,解决我国 FMM 工艺装备“卡脖子“的问题。
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