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yao
发表于 1-22 09:51
ASML新世代EUV设备再创天价
ASML新世代EUV设备再创天价
ASML在2022年初收到来自英特尔的最新款High-NA EUV的首份订单,据介绍,EXE:5200为0.55 数值孔径High-NA EUV微影技术首度商转,英特尔计划该设备2025年量产,业界估计该设备报价超过3.4亿美元(约合人民币21.56亿),较前一代价格增逾13%。
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