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admin
发表于 6-6 11:44
重大突破!第一台国产28nm光刻机将交付!
重大突破!第一台国产28nm光刻机将交付!
6月5日,据业内媒体消息,上海微电子装备(集团)股份有限公司披露,将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机!虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至5nm光刻机还有数代的隔阂,但是差距已经大大缩小,毕竟在此之前国产光刻机还是90nm。
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